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低頻噪聲測試系統

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低頻噪聲測試系統

類型:

噪聲測量儀器

主要用途:

半導體輻射探測器被廣泛地應用在空間粒子探測、核電工業、生物防護等領域

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9812 系列是全球半導體行業業內低頻噪聲測試的“ 黃金標準”。 最新型號 9812DX 作為 9812B 和 9812D 的增強版,為半導體行業先進工藝研發、器件建模和高端電路設計提供了更加完整而又高效的低頻噪聲測試及分析解決方案,可以滿足各種不同工藝平臺下半導體器件和集成電路低頻噪聲測試的需求。

 

9812DX 作為單一完整的低頻噪聲測試系統,支持全面的半導 體器件種類在多種測試條件下的高精度噪聲測試,提供了很高的晶圓級噪聲測試精度和測試帶寬,該型號的測試精度較之前的 9812D 提高了一個數量級,最低測試噪聲電流精度低至 10-27A2 /Hz,其測試能力覆蓋非常廣泛,是市面少有的從 10Ω 到 10MΩ 可同時覆蓋高阻抗器件和低阻抗器件測試能力的設備。

 

針對半導體先進工藝制程節點特別是 FinFET 工藝下對低頻噪聲測試需求“爆炸式”增長的挑戰,通過軟硬件創新設計, 9812DX 不但使典型噪聲測試速度提高至一個偏置條件僅需 10s,還將最高測試電壓提高到 200V 從而使得適用應用場景更 加廣泛。該系統可在短時間內獲得更加精確可信的測試數據, 另外還可以通過并行測試架構解決方案以及協同 FS-Pro 半導體參數測試系統等方式大幅度的提高了測試效率和吞吐量。

 

目前,9812DX 已被眾多半導體代工廠所采用,繼 9812B/D后成為低頻噪聲測試領域新一代的“黃金標準”,被用于 28nm, 14nm, 10nm, 7nm 和 5nm 等各工藝節點的先進工藝研發和高端集成電路設計。



產品優勢

應用范圍:

已被眾多半導體公司所采用的標準測試系統

產品歷史超過十年

功能:

1/f噪聲(閃爍噪聲)測試與特性分析、RTN(隨機電報噪聲)測試與特性分析

任意待測類型,晶圓級高精度和測試帶寬

寬電壓、寬電流、寬阻抗測量范圍

系統架構:

系統體系架構經過行業認可并不斷完善,可靠性好和精度高

支持并行測試:

經過業界知名客戶嚴苛驗證并認可的在高精度下高測試吞吐率和并行測試能力


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